晶圓表面缺陷檢查設備
Magic Mirror
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♦ 適用於拋光、磊晶、擴散、熱處理、研磨等製程後之檢查
♦ 全自動檢查，缺陷分類及計數；影像可看、可印出、 可存檔、可處理
♦ 使用者介面Window NT環境SECSⅡ/GEM軟體可選用
♦ 晶圓邊緣抓取方式
♦ 8"及300mm共用機種
冲成股份有限公司 / JC's Chunson Limited
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